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  菲索型激光干涉仪 ZYGO Verifire
   
 

菲索型激光干涉仪 ZYGO Verifire

菲索型激光干涉仪 ZYGO Verifire具有专利QPSI测量模式,能够在振动环境中检测,真正的共光路面形计量干涉仪。

 
 
显示全部 产品特点 产品规格 产品图片

系统

测量功能 精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
测量技术 QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式(PSI)
校准系统 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
测量光束直径 4″(102mm)或6″(152mm)
对准视场范围FOV 4″:±3°;6″:±2°;
光学中心线 4.25″(108mm)
激光光源 大功率稳频氦-氖激光,IIIa级
波长 633 nm
频率稳定度 < 0.0001 nm
相干长度 >100m
成像分辨率 1024 x 1024像素
帧速 100Hz(PSI)
数据采集时间 130-300ms
数据模式 8位
放大 电控1-5X
偏振 接近圆偏振(1.2:1或者更好)
光曈调焦范围 4″:±2.5m;6″:±5.5m;
计算机和软件 高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO专利软件 MetroproTM 9和MetroproTM X(2)
安装构造 水平卧式或垂直立式
附件 详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件,OMP-0463
尺寸(长x宽x高) 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
重量 4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg)
电源 100-240VAC,50/60Hz

 

工作环境

温度 15°C - 30°C (59°F - 86°F)
温度变化率 <1.0°C/15min
湿度 相对湿度5% - 95% , 无凝结
隔振 QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量;机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。

 

性能参数

RMS重复性(3) < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
RMS波前重复性(4) < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
像素峰值偏差(5) < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

 

两种模式下测试有振动的腔

菲索型激光干涉仪

PSI模式 13位计算法                                                  QPSI模式 5ms快门速度

 

注:
1 给出的环境参数是指可以操作使用的环境,不代表仪器要达到最好性能所需要的环境要求。
2 仅在MetroProX软件中有QPSI测量模式。
3 简单RMS重复性定义为对一个4英寸平面短腔,做36次连续测量(每次16次相位平均),所测得的RMS的标准差的2倍。
4 波前RMS重复性定义为,把测得的均方根差的平均值加上标准差的2倍作为波前RMS重复性。其中标准差定义为把奇数次测量的均值作为参考值,而把偶数次测量值相对于此均值求得标准差;计算基于36次连续测量(每次16次相位平均)。
5 像素峰值偏差:定义为对于36次连续测量(每次16次相位平均),取图像峰值标准差的 99.5%;这个结果测量系统随时间变化的行为(或者A类不确定性)。

系统

测量功能 精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
测量技术 QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式(PSI)
校准系统 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
测量光束直径 4″(102mm)或6″(152mm)
对准视场范围FOV 4″:±3°;6″:±2°;
光学中心线 4.25″(108mm)
激光光源 大功率稳频氦-氖激光,IIIa级
波长 633 nm
频率稳定度 < 0.0001 nm
相干长度 >100m
成像分辨率 1024 x 1024像素
帧速 100Hz(PSI)
数据采集时间 130-300ms
数据模式 8位
放大 电控1-5X
偏振 接近圆偏振(1.2:1或者更好)
光曈调焦范围 4″:±2.5m;6″:±5.5m;
计算机和软件 高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO专利软件 MetroproTM 9和MetroproTM X(2)
安装构造 水平卧式或垂直立式
附件 详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件,OMP-0463
尺寸(长x宽x高) 4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
重量 4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg)
电源 100-240VAC,50/60Hz

 

工作环境

温度 15°C - 30°C (59°F - 86°F)
温度变化率 <1.0°C/15min
湿度 相对湿度5% - 95% , 无凝结
隔振 QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量;机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。

 

性能参数

RMS重复性(3) < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
RMS波前重复性(4) < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
像素峰值偏差(5) < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

 

两种模式下测试有振动的腔

菲索型激光干涉仪

PSI模式 13位计算法                                                  QPSI模式 5ms快门速度

 

注:
1 给出的环境参数是指可以操作使用的环境,不代表仪器要达到最好性能所需要的环境要求。
2 仅在MetroProX软件中有QPSI测量模式。
3 简单RMS重复性定义为对一个4英寸平面短腔,做36次连续测量(每次16次相位平均),所测得的RMS的标准差的2倍。
4 波前RMS重复性定义为,把测得的均方根差的平均值加上标准差的2倍作为波前RMS重复性。其中标准差定义为把奇数次测量的均值作为参考值,而把偶数次测量值相对于此均值求得标准差;计算基于36次连续测量(每次16次相位平均)。
5 像素峰值偏差:定义为对于36次连续测量(每次16次相位平均),取图像峰值标准差的 99.5%;这个结果测量系统随时间变化的行为(或者A类不确定性)。


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